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微型石英晶片

2004年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
⑴、任务来源：自选项目
⑵、技术原理和性能指标：
技术原理：通过保证微型石英晶片外形尺寸公差±0.002mm，厚度公差±0.05um，同时控制外形对角线长度差≤0.002mm及晶片外观要求零缺陷（包括无崩边、缺口、缺角、无划伤），来确保石英晶片的性能。
性能指标：
项目 主要性能指标 ...
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